プラズマおよびイオンビームによるエッチングとデポジション技術

オックスフォード・インストゥルメンツ・プラズマテクノロジーは、プラズマプロセス・ソリューションで世界をリードしており、プラズマ処理における最新の技術革新を実現してきた長い歴史を持っております。お客様のニーズを良く理解することを通じて、常に、お客様のデバイスを最大限に発展させるのに必要なソリューションを提供しています。堅牢な製造ハードウェアも含めて、LabからFabへの道程を、お客様とともに進んで参ります。

プラズマエッチングについては、RIE、ICP RIE、IBE、ALEによって、またプラズマデポジションについては、PECVD、ICP CVD、CVD、IBD、ALDによって、世界最先端のソリューションを提供します。