オックスフォード・インストゥルメンツー事業部ページ
VCSEL（垂直共振器面発光レーザー）出荷量が増加している状況ならば、オックスフォード・インストゥルメンツのプラズマテクノロジーにより、歩留まりを改善し、製造コストを削減することができます。
オックスフォード・インストゥルメンツのシステムは、90％以上の稼働率と、導入時の迅速なスタートを保証するプロセスにおいて、十分に実績を重ねています。
VCSEL（垂直共振器面発光レーザー）は、コンパクトに高いレーザー安定性と低消費電力が要求されるアプリケーションに必要な技術です。
当社は、デバイスのコストと性能を可能にし、1日あたりの良品ダイの生産量を最大化するために、プロセス知識を応用しました。
VCSELは、LiDAR（Light Detection And Ranging, 照射したレーザー光の反射光の情報から対象物の位置や形状を計測する技術）に使用され、自動運転技術に利用されています。その他、顔や物、ジェスチャーの認証、または生体認証決済にも利用されています。
VCSELのメサ
VCSELのメサ
VCSELメサの断面
高品質表面
シンプル化したプロセスフローを示します。オレンジ色のプロセスは、オックスフォード・インストゥルメンツの技術がカバーするソリューションを表しています。ICPエッチングはPlasmafab Cobra GaAs VCSELによってカバーされています。
エンドポイント技術により、ターゲット層へのエッチング深さをより厳密に管理することが可能となり、エッチングのばらつきや材料の厚みのばらつきに対応することができます。
当社のPTIQシステムソフトウェアは、オックスフォード・インストゥルメンツのお客様に卓越したレベルの応答システム制御、信頼性、再現性を提供するように設計されています。施設要件に合わせて利用可能なさまざまなレベルのソフトウェアによって、ラボまたは製造現場でのシステムおよびプロセス性能を最適化します。
詳細はこちら >
プラットフォームは、カセット式またはシングルウェハローディングオプションのいずれかの技術とプロセスを組み合わせる、クラスター化をすることができます。六角形または四角形の搬送チャンバー構成が可能です。
オックスフォード・インストゥルメンツは、総括的で柔軟な信頼できる、グローバルなお客様サポートをお約束しています。お客様のシステムが稼働している期間、高品質のサービスを提供します。
どうぞ弊社の担当者にご連絡ください。よろしくお願いいたします。
© オックスフォード・インストゥルメンツ 2024
