グローバルな、お客様サポート

オックスフォード・インストゥルメンツは、総括的で柔軟、かつ信頼できる、グローバルなお客様サポートをお約束しています。お客様のシステムが稼働している期間、高品質のサービスを提供します。

• 遠隔診断ソフトウェアにより、迅速で簡便な欠陥診断と問題解決を実現します。
• ご予算と状況に合わせた、サポート契約も用意しております。
• 迅速な対応を実現するため、戦略拠点にグローバル予備品を揃えています。

WHITE PAPER:
GaN HEMTパワーエレクトロニクス向け ALD および ALE 

電力変換や送電用に、新しい GaN パワーエレクトロニクスが開発されています。 GaN の高い電子移動度と耐電圧は、パワーデバイスの理想的な材料となっています。このようなデバイスを作るにはいくつかの戦略があり、AlGaN バリアのリセスエッチングを用いることはその代表的なものです。さらに、リーク電流を制限するためにゲート絶縁膜が望まれます。

WEBINAR:
Atomfab ALD による GaN デバイスのゲート絶縁膜について

2019 年 7 月から、このウェビナーをいつでもオンデマンドで視聴できます。当社の ALD エキスパートである Aileen O'Mahony 博士が、GaN 向け ALD のマスタークラスを開催しました。優れた均一性、低基板ダメージのための最適化されたプロセス条件、優れたデバイス性能のための高い材料品質、コンフォーマルデポジションをどのように実現できるかを見ていきます。このウェビナーでは、Atomfab ALD システムの紹介も行っています。