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ICP CVD システム

ICPCVD ( 誘導結合プラズマCVD ) プロセスモジュールは、低温成長により高品質薄膜製造向け設計されています。高密度リモートプラズマにより、基板へのダメージが抑えられた優れた膜質を実現しています。

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