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ALD 原子層堆積Atomfab ALDFlexAL ALD
ALE 原子層エッチング
PlasmaPro 100 ALEイオンビーム
Ionfab IBEIonfab IBDソフトウェア
PTIQ Software
オックスフォード・インストゥルメンツー事業部ページ
VCSEL（Vertical-Cavity Surface-Emitting Lasers：垂直共振器型表面発光レーザー）は、現在、3Dセンシング用途で波に乗っています。当社のVCSELデバイス製造ソリューションは、優れた電気光学性能を高い生産性で実現します。
お問い合わせVCSELは、3Dセンシング、ジェスチャー認識、自動運転車用LIDARなどの技術を実現します。また、3Dセンシングによる顔認証は、ハイエンドのスマートフォンメーカーに採用され、新たなアプリケーションへの道を開いています。これらのアプリケーションは、VCSELの低消費電力動作から高消費電力動作への移行を促進しています。
VCSELは、検知対象を照らす赤外光のエミッタとして使用されます。VCSELは、低ビーム発散、温度安定性、低消費電力などのユニークなデバイス特性を持つため、このアプリケーションに最適な光源です。
シンプルなプロセスフロー。オレンジ色で示されたプロセスは、
オックスフォード・インストゥルメンツの技術でカバーされるソリューションを示しています。
オックスフォード・インストゥルメンツのプラズマテクノロジーでは、VCSELのメサ製造で大きな成功を収めています。私たちは、150mmウェーハ上で、VCSELメサのマスキングからエッチングまでの高精度製造を高い再現性で実証しました。またデバイスは加速耐久試験に合格しています。
メサのエッチングは、非常に低いフッティングで均一かつ滑らかに行われます。このプロセスは、完全に自動化された終点検出により、メサの高さの微調整が可能です。
当社のVCSELソリューションは、最大の歩留まりで優れた電気光学性能をサポートします。VCSELメーカーが高品質なレーザーを大量生産するためには、当社のプラズマ処理に関する強力な専門知識が必要です。これまでに当社は、150mmまでの基板において実績があり、200mmの基板にもできます。
当社のVCSELソリューションは、デバイスの性能を
最大限に引き出せる高い均一性を実現します。
高度なプラズマ処理ソリューションは、200mmウェーハまでの量産型プラットフォームPlasmaPro 100により実現できます。
当社のCVDおよびICP/RIEソリューションは、マスキング、パッシベーション、メサまたはアイソレーションなどの様々なステップを含みます。オックスフォード・インストゥルメンツは、最大のデバイス性能と製造効率を提供するために、化合物半導体コミュニティと密接に協力してきた長い歴史があります。
3Dセンシングにおける高い電力変換効率から、データ通信における高い安定性まで、目標性能を実現するための製造プロセスをサポートします。
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