マイクロLED開発に向けて、プラズマ・エッチング・ソリューションをITRIに提供
マイクロLEDのR&Dプログラム用に、エッチングおよびデポジションの両方を含む複合PlasmaPro 100システムを採用
PlasmaPro 80 ICP は、コンパクトな省スペースのシステムであり、多様なICPエッチングを、使い易い大気装入方式で実現します。設置や使用は簡単ですが、プロセスの品質はそのままです。大気装入設計は、迅速なウェハー装入と抽出を可能にし、研究やプロトタイプ、少量生産に理想的です。最適化された電極冷却および優れた基板温度の制御により、高性能プロセスを実現します。
大気装入設計により、迅速なウェハー装入と抽出が可能
優れたエッチング制御および最適エッチング速度が可能
優れたウェハー温度の均質性を実現
最大 200mm までのウェハー処理が可能
所有コストが低い
安全ガイドライン Semi S2/S8 基準に沿う
最表面の誘電体層を除去し、4つの金属層を露出
最表面の誘電体層を除去し、4つの金属層を露出
ICP65による、低損傷FAエッチング
オックスフォード・インストゥルメンツは、総括的で柔軟、かつ信頼できる、グローバルなお客様サポートをお約束しています。お客様のシステムが稼働している期間、高品質のサービスを提供します。
PTIQ is the latest intelligent software solution for PlasmaPro and Ionfab processing equipment.