オックスフォード・インストゥルメンツのプラズマ技術は、ナノメートルサイズ形状、ナノレイヤー、ナノ構造の成長制御に向けて、エッチングとデポジションのプロセス・ソリューションで世界をリードしています。

これらのソリューションは、プラズマとイオンビーム、原子層レベルのデポジションとエッチングにおけるコア技術に基づいています。当社の製品は、高スループットの生産プロセス用の カセット式クラスターのプラットフォームから、研究開発用のコンパクトなスタンドアローンシステムまで対応しております。