ALD
ALE
DSiE
IBD
Ion Beam Systems
ICPエッチングシステム
ICPCVD
CVD システム
PECVD
リアクティブイオンエッチング (RIE) システム
PlasmaPro 100 ALE and Etchpoint
オックスフォード・インストゥルメンツ、マイクロLED向けALD技術を英国のAR(拡張現実)および先端コンシューマー機器向け主要メーカーに供給
オックスフォード・インストゥルメンツ、日本の主要なパワーエレクトロニクスおよびRFデバイスファウンドリー数社からGaN向けALEおよびALDシステムを受注
オックスフォード・インストゥルメンツ、SiC基板研磨ソリューションの結晶品質向上を確認
オックスフォード・インストゥルメンツ、次世代半導体製造・高機能材料の特性評価・ライフサイエンスのラボ機能を充実させた新本社を開設 分析機器業界初の中古オフィス家具海外寄付を通じてSDGsへ貢献