ALD
ALE
DSiE
IBD
イオンビームシステム
ICPエッチングシステム
ICPCVD
CVD システム
PECVD
リアクティブイオンエッチング (RIE) システム
PlasmaPro 100 ALE and Etchpoint
化合物半導体業界向けの高性能プラズマ処理ソリューションの主要プロバイダーであるOxford Instrumentsは本日、ローム株式会社が650V窒化ガリウム(GaN)パワーデバイスの製造を自社内製化するにあたり、同社を支援する役割を担うことを発表した。
2026年度オックスフォード・インストゥルメンツの予算申請用カタログが完成しました。目的やご予算に応じた最適な機器をスムーズに比較・検討いただけます。予算の検討・次期設備導入のご検討に、ぜひご活用ください。
Oxford Instruments、次世代AI向け自動化6インチInPウエハー加工をコヒーレント社に提供
2025年度オックスフォード・インストゥルメンツの予算申請用カタログが完成しました。冒頭に各製品のアプリケーションを記載し、種類別に当社の製品をご紹介しています。科学研究費などの予算申請にご利用ください。