プロダクト
ALD 原子層堆積Atomfab ALDFlexAL ALD
ALE 原子層エッチング
PlasmaPro 100 ALEイオンビーム
Ionfab IBEIonfab IBDソフトウェア
PTIQ Software
少量の流体を制御する、MEMSベースのエッチングおよびデポジション・プロセス
センサーとドラッグデリバリーに向けた、革新的な電子および光デバイス
MEMSが圧倒的にSiにおいて作製されるのに対し、バイオMEMSは、基板材料として高分子やガラス、セラミックスも使います。生体医療アッセイの表面改質と生体適合性の実現は、新たな複雑な科学になっています。それらは、イン・ビボまたはイン・ビトロ(生体内外において)で使われ、またスタンドアローンまたは通常他の部品と統合され、単一または複数の機能を果たすので、“ラボオンチップ“と呼ばれてきました。