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PROCESS SOLUTIONS FOR

バイオメディカルデバイス

バイオMEMSデバイスのための半導体製造技術

世界の医療産業では、迅速かつ正確な診断に対する要求のみならず、生体医療研究のスピードアップと効率化に対する必要性が益々高まっており、これまでに無かったような大きな転換点を迎えています。半導体製造技術の進展によって、病気の研究、発見、治療を支援するデバイスが実現し、病院内外において医療をより手の届く効果的なものとできるようになっています。

生体医療デバイスは、多様な部品の集積によって組み立てられ、小型化されているタイプの電子デバイスであり、製造プロセス上にいくつかの課題を抱えています。オックスフォード・インストゥルメンツは、次のような、広範な製造ソリューションを提供しています:

マイクロ流路

少量の流体を制御する、MEMSベースのエッチングおよびデポジション・プロセス

  • シリコン深堀エッチングとクライオエッチング
  • ガラスおよび高分子のエッチング
  • 薄膜(PE)ALDおよび(PE)CVDコーティング
  • プラズマ接合およびデスカム
  • プラズマ表面改質



Microfluidic components for biomedical applications image

バイオメディカル (BioMEMS) アプリケーション向けマイクロ流路コンポーネント


アクティブデバイス

センサーとドラッグデリバリーに向けた、革新的な電子および光デバイス

  • 石英ガラスと高分子のシリコンエッチング
  • 薄膜(PE)ALDおよび(PE)CVDコーティング
  • グラフェンやナノワイヤ、2D材料のような先端材料
  • DNA塩基配列決定のような用途に向けた、メンブレンおよびカンチレバー型デバイスのエッチングとデポジション プロセス

 


ハーメチック/生体適合型コーティング

デバイスと周囲環境の保護

  • 薄膜(PE)ALDおよび(PE)CVDコーティング
お問い合わせ

バイオMEMS技術

MEMSが圧倒的にSiにおいて作製されるのに対し、バイオMEMSは、基板材料として高分子やガラス、セラミックスも使います。生体医療機器の表面改質と生体適合性の実現は、新たな複雑な科学になっています。それらは、 in vivo または in vitro (生体内外において)で使用され、また単独または通常他の部品と統合され、場合によっては複数の機能を果たすため、「Lab on a chip」と呼ばれてきました。

WHITE PAPER

バイオメディカルデバイス

半導体技術は、世界的なヘルスケアにおいてますます重要性を増しており、疾病の新たな理解、発見、治療を可能にすることで、クリニック内外のヘルスケアをより安価で効率的なものにしています。

当社の White Paper バイオメディカルでは、以下のトピックを取り上げています:

  • エレクトロニクス、フォトニクス、MEMSベースのデバイス
  • 疎水性、親水性、機能性表面の作製
  • マイクロ流路コンポーネントの製造
White Paper : バイオメディカルデバイス製造

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