SバイオMEMSデバイスのための半導体製造技術

世界の医療産業では、迅速かつ正確な診断に対する要求のみならず、生体医療研究のスピードアップと効率化に対する必要性が益々高まっており、これまでに無かったような大きな転換点を迎えています。半導体製造技術の進展によって、病気の研究、発見、治療を支援するデバイスが実現し、病院内外において医療をより手の届く効果的なものとできるようになっています。

生体医療デバイスは、多様な部品の集積によって組み立てられ、小型化されているタイプの電子デバイスであり、製造プロセス上にいくつかの課題を抱えています。オックスフォード・インストゥルメンツは、次のような、広範な製造ソリューションを提供しています：

マイクロ流体

少量の流体を制御する、MEMSベースのエッチングおよびデポジション・プロセス

ディープシリコンエッチングと極低温エッチング
ガラスおよび高分子のエッチング
薄膜（PE）ALDおよび（PE）CVDコーティング
プラズマ接合およびデスカム
プラズマ表面改質

Microfluidic components for biomedical applications image

アクティブ・デバイス

センサーとドラッグデリバリーに向けた、革新的な電子および光デバイス

石英ガラスと高分子のシリコンエッチング
薄膜（PE）ALDおよび（PE）CVDコーティング
グラフェンやナノワイヤ、2D材料のような先端材料
DNA塩基配列決定のような用途に向けた、メンブレンおよびカンチレバー型デバイスのエッチングとデポジションプロセス

ハーメチック／生体適合型コーティング

デバイスと周囲環境の保護

薄膜（PE）ALDおよび（PE）CVDコーティング

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バイオMEMS技術

MEMSが圧倒的にSiにおいて作製されるのに対し、バイオMEMSは、基板材料として高分子やガラス、セラミックスも使います。生体医療アッセイの表面改質と生体適合性の実現は、新たな複雑な科学になっています。それらは、イン・ビボまたはイン・ビトロ（生体内外において）で使われ、またスタンドアローンまたは通常他の部品と統合され、単一または複数の機能を果たすので、“ラボオンチップ“と呼ばれてきました。

Biomedical microfluidic filter SEM silicon etch

オックスフォード・インストゥルメンツのシリコンエッチング処理ソリューションを使って製作された、マイクロ流体フィルターのSEM画像

当社のシリコンエッチングプロセスの詳細については、こちら

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