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ALD 原子層堆積Atomfab ALDFlexAL ALD
ALE 原子層エッチング
PlasmaPro 100 ALEイオンビーム
Ionfab IBEIonfab IBDソフトウェア
PTIQ Software
オックスフォード・インストゥルメンツー事業部ページ
ARとは、現実の環境の上にコンピュータで生成されたオブジェクトを重ね合わせて、ユーザーが視覚的に操作できるようにする技術です。
ARは、複合現実（MR）と同様に、仮想イメージを投影しながら現実世界を見ることができるオプティカルコンバイナーを必要とします。ARには、製造、トレーニング、セキュリティ、外科手術など、B2B市場において多くのアプリケーションがあります。
消費者市場向けのアプリケーションも同様に、ゲーム、ショッピング、ナビゲーションなど様々な用途があります。ARは近い将来、非常に人気の高い分野になると考えられます。Microsoft社のHololensやMagic Leap社のMagic Leap Oneなど、多くの市販製品がすでにARの可能性を示しています。
お問い合わせ最適な光学性能を得るためには、導波管を用いたコンバイナーを厳しい公差で製造する必要があります。光カプラの表面レリーフグレーティングのマスターモールドを製造する際には、グレーティングのCD、角度、深さを正確に制御する必要がありますが、これにはマスクドライエッチングや傾斜エッチングによる加工が必要です。
真に没入できるAR体験を実現するため多くの技術が検討されてきましたが、導波路によるアプローチは、広視野を実現できることから、Microsoft HololensやVuzixなどの大手企業が採用しています。
当社には、大面積の傾斜エッチングに長年のノウハウがあります。当社のソリューションは、表面レリーフグレーティングに必要な製造品質を実現でき、また様々な傾斜角に対応することで、最適な光効率を実現します。当社は長年にわたり、スラント型グレーティングのソリューションを開発し、対応できるウェーハサイズは200mmまでで、市場をリードする高い均一性を誇っています。
当社の高度なプラズマ処理ソリューションは、ICP エッチング、RIE、およびイオンビームエッチングで実現され、ARデバイスの量産をサポートする最大200mmウェーハに対応します。当社のIBE用Ionfabシステムは、200mmウェーハでも最適な均一性が得られます。また独自のイオンビーム技術と特許出願済みのグリッド設計により、標準的な45°グレーティングを高精度で形成することができ、SiやSiO2など、様々な材料に対応しています。
マスクエッチングやARコートモジュールには、信頼性の高い真空搬送ロボットを採用し、クラスター構成も可能です。
保証やサポート契約などのグローバルなアフターサポートも充実し、システム高い稼働率を確保します。世界中のお客様に24時間365日、当社のチームが直接またはリモートリンクで対応します。詳細は、サービス＆サポートオプションをご覧ください。
Rumors continue to rise about Augmented Reality (AR) headsets being around the corner. Is this the consumer dream? Is it the next generation consumer electronics revolution?
Find out more about AR solutions in our recent interview with Yole Développement.
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