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原子層堆積 (ALD) システム

オックスフォード・インストゥルメンツのALD製品シリーズは、リモートプラズマALDプロセスと熱ALDを組み合わせることにより、ナノスケール構造およびデバイスの製造において、ユニークな柔軟性と性能範囲を実現します。

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