オックスフォード・インストゥルメンツツの一部
拡張

原子層堆積 (ALD) システム

オックスフォード・インストゥルメンツのALD製品シリーズは、リモートプラズマALDプロセスと熱ALDを組み合わせることにより、ナノスケール構造およびデバイスの製造において、ユニークな柔軟性と性能範囲を実現します。

プロダクト群