HBLED製造に向けた製造プロセスとツールは、ウェハー1枚またはバッチのウェハーに対して、非常に優れた能力を発揮します。オックスフォード・インストゥルメンツは、高輝度LED製造に向けた、優れた一連のプロセス・ソリューションを提供し、製造過程における重要ポイントで最高クラスのスループットを実現します。17年以上に渡りHBLEDメーカーにプラズマエッチングおよびPECVDツールを供給しており、お客様が必要とする所有コストとデバイス性能を提供できるノウハウを持っております。