オックスフォード・インストゥルメンツツの一部
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プロセス・ソリューション
高輝度LED(HBLED)用途

HBLED製造に向けた製造プロセスとツールは、ウェハー1枚またはバッチのウェハーに対して、非常に優れた能力を発揮します。オックスフォード・インストゥルメンツは、高輝度LED製造に向けた、優れた一連のプロセス・ソリューションを提供し、製造過程における重要ポイントで最高クラスのスループットを実現します。17年以上に渡りHBLEDメーカーにプラズマエッチングおよびPECVDツールを供給しており、お客様が必要とする所有コストとデバイス性能を提供できるノウハウを持っております。

当社のソリューション

オックスフォード・インストゥルメンツは、LEDデバイスに最適な、広範な処理装置を用意しております。

  • PECVDによるパッシベーションは、最適なデバイス性能に向けた、優れた絶縁破壊電圧を達成します。
  • LEDまたはレーザー用のGaNエッチング。GaNエッチングは、表面品質と低損傷を維持します。
  • エッチングの難しい材料に対しても、高いエッチング速度を持っています。
詳しい情報が必要な場合

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