プロダクト
ALD 原子層堆積Atomfab ALDFlexAL ALD
ALE 原子層エッチング
PlasmaPro 100 ALEイオンビーム
Ionfab IBEIonfab IBDソフトウェア
PTIQ Software
HBLED製造に向けた製造プロセスとツールは、ウェハー1枚またはバッチのウェハーに対して、非常に優れた能力を発揮します。オックスフォード・インストゥルメンツは、高輝度LED製造に向けた、優れた一連のプロセス・ソリューションを提供し、製造過程における重要ポイントで最高クラスのスループットを実現します。17年以上に渡りHBLEDメーカーにプラズマエッチングおよびPECVDツールを供給しており、お客様が必要とする所有コストとデバイス性能を提供できるノウハウを持っております。
オックスフォード・インストゥルメンツは、LEDデバイスに最適な、広範な処理装置を用意しております。