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Process solutions for

高輝度LED (HBLED)

高輝度LED製造向けプロセスシステムは、優れたシングルウェハおよびバッチウェハ機能を提供しています。

オックスフォード・インストゥルメンツは、高輝度LED製造のためのプロセスソリューションに対し、ユニークな製品シリーズを提供しています。17年以上にわたってHBLEDメーカーにプラズマエッチングとPECVDシステムを供給してきた当社は、お客様が求める所有コストとデバイス性能を実現するノウハウを有しています。

当社のソリューション

オックスフォード・インストゥルメンツは、LEDデバイスに最適な、広範なプロセス装置を用意しております。

  • PECVDによるパッシベーション膜歯により、最適なデバイス性能に向けた、優れた絶縁破壊電圧が実現します。
  • LEDまたはレーザー向けのGaNエッチング。GaNエッチングは、表面品質と低ダメージを維持します。
  • エッチングの難しい材料に対しても、高いエッチング速度を持っています。
詳しい情報が必要な場合

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