高輝度LED製造向けプロセスシステムは、優れたシングルウェハおよびバッチウェハ機能を提供しています。

オックスフォード・インストゥルメンツは、高輝度LED製造のためのプロセスソリューションに対し、ユニークな製品シリーズを提供しています。17年以上にわたってHBLEDメーカーにプラズマエッチングとPECVDシステムを供給してきた当社は、お客様が求める所有コストとデバイス性能を実現するノウハウを有しています。