ロケーション:
幕張メッセ
事業部:
Plasma Technology, Asylum Research, WITec | Raman
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PlasmaPro 80は、コンパクトな省スペースのシステムであり、多様なエッチングとデポジションのソリューションを、使い易いオープンロード方式で実現します。このオープンロード方式は設置や使用が簡単で、プロセスの品質が損なわれることはありません。また、迅速なウェハの設置と取り出しを可能にし、研究やプロトタイプ、少量生産に理想的なシステムです。最適化された電極冷却および優れた基板温度制御により、高性能プロセスを実現します。
オープンロード設計により、迅速なウェハの設置と取り出しが可能
優れたエッチング制御および最適エッチング速度を実現
優れたウェハ温度の均質性を実現
最大200mmまでのウェハサイズ
低い所有コスト
安全ガイドラインSemi S2/S8基準に準拠
オックスフォード・インストゥルメンツは、総括的で柔軟、かつ信頼できる、グローバルなお客様サポートをお約束しています。お客様のシステムが稼働している期間、高品質のサービスを提供します。
PTIQ は、PlasmaPro および Ionfab プロセスシステム用の最新のインテリジェントソフトウェアソリューションです。
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