MEMSは、新世代の検出器を実現し、サンプルの動作検知や医療診断を行うための効果的な測定を可能にします。

Micro/Nano Electro Mechanical Systems (M/NEMS)とセンサーは、民生機器や商業製品に利用されている多数のデバイスに数多く利用されるようになりました。例としては、スマートフォン、自動車、ゲーム機、ナビゲーション機器、ドローン、生体医療機器、などがあります。現行の性能を超えてIoTが成熟していくにしたがい、この利用はさらに増えていくことでしょう。