オックスフォード・インストゥルメンツツの一部
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プロセス・ソリューション
MEMSとセンサー

MEMSは、新世代の検出器を実現し、サンプルの動作検知や医療診断を行うための効果的な測定を可能にします。

Micro/Nano Electro Mechanical Systems (M/NEMS)とセンサーは、民生機器や商業製品に利用されている多数のデバイスに数多く利用されるようになりました。例としては、スマートフォン、自動車、ゲーム機、ナビゲーション機器、ドローン、生体医療機器、などがあります。現行の性能を超えてIoTが成熟していくにしたがい、この利用はさらに増えていくことでしょう。

MEMS技術

エネルギー効率、コスト効率の高い小型デバイスに対する需要が増大する中で、製造方法の総合的な選択が重要になっています。オックスフォード・インストゥルメンツは、このような課題に対応するため、ICPPECVDALDナノスケール成長イオンビームエッチングデポジションなどの、柔軟性の高い装置とプロセス・ソリューションの優れたラインナップを用意しております。

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