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プロセス・ソリューション
RFデバイス

ワイドバンドギャップ(WBG)デバイスは市場にある様々なデバイス技術の中でも独自の優れたRF性能を実現できます。基地局は、大量のデータ伝送を行える、高出力で高速なスイッチングデバイスを必要とします。また、人口増加に伴う電力需要の増大に対して、今後はエネルギー生成、分散、回収のための新たな手法が不可欠です。GaN HEMTをはじめとする半導体技術が、電気自動車などのグリーン技術や、基地局間通信などの通信用途におけるエネルギー消費効率の改善に使われています。

RFソリューション

オックスフォード・インストゥルメンツは、化合物半導体を使ったRFデバイスの製造に適した広範な処理装置を用意しています。

ATOMFAB ALD SYSTEM

Atomfab is our latest innovation in ALD system technology, delivering fast pace, low damage, low CoO production plasma ALD processing for GaN power and RF devices.

  • Excellent film uniformity
  • Low subsrate damage
  • Competitive CoO
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