アップグレード - オックスフォード・インストゥルメンツ

お客様のシステムの寿命を延ばす、新機能を追加するといった、広範囲のシステム・アップグレードが用意されています。

システムごとのアップグレード:

	Plasma Pro					ALD ツール		イオンビーム
	80	800	100	1000	FlexAL	OpAL	Ionfab300	Nanofab
Paramount 先進エネルギー発生器			✓
自動圧力制御			✓			✓
バーコード読み取り式ウェハー走査ソフトウェア	✓	✓	✓	✓	✓	✓	✓	✓
Comdel 発生器	✓	✓	✓
デュアルCMゲージ・スイッチング			✓		✓
ガスポッド	✓	✓	✓	✓	✓	✓	✓	✓
Glassman 電源							✓
ハイデン HMT RGA							✓
統合型ガスポッド	✓
ライトタワー	✓	✓	✓	✓	✓	✓	✓	✓
液体窒素自動切り替えユニット			✓
Logviewer ソフトウェア	✓	✓	✓	✓	✓	✓	✓
光学エンドポイント検知器	✓	✓	✓		✓	✓		✓
SECS GEM オートメーション	✓	✓	✓	✓	✓	✓	✓	✓
ソフトポンプ	✓	✓	✓
TEOS 液体レベルセンサー			✓					✓
ターボ分子真空ポンプ	✓	✓	✓		✓	✓	✓	✓
広温度範囲電極			✓
X20 コントロールシステム	✓	✓	✓		✓		✓

TeamViewer ソフトウェアは、新システムでは現在、標準装備として出荷されていますが、既に設置されているシステムに対しても、無料で取得可能です。

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