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Service & Support
アップグレード
お客様のシステムの寿命を延ばす、新機能を追加するといった、広範囲のシステム・アップグレードが用意されています。

システムごとのアップグレード:

Plasma Pro ALD ツール イオンビーム
80 800 100 1000 FlexAL OpAL Ionfab300 Nanofab
Paramount 先進エネルギー発生器
自動圧力制御
バーコード読み取り式ウェハー走査ソフトウェア
Comdel 発生器
デュアルCMゲージ・スイッチング
ガスポッド
Glassman 電源
ハイデン HMT RGA
統合型ガスポッド
ライトタワー
液体窒素自動切り替えユニット
Logviewer ソフトウェア
光学エンドポイント検知器
SECS GEM オートメーション
ソフトポンプ
TEOS 液体レベルセンサー
ターボ分子真空ポンプ
広温度範囲電極
X20 コントロールシステム

TeamViewer ソフトウェアは、新システムでは現在、標準装備として出荷されていますが、既に設置されているシステムに対しても、無料で取得可能です。

サポートのご要望は、こちら
お問い合わせは、こちら

NEW

Introducing... PTIQ Software

PTIQ is the latest intelligent software solution for PlasmaPro and Atomfab processing equipment.

  • Exceptional level of responsive system control
  • Optimise system and process performance
  • Different levels of software to suit your requirements
  • Brand new intuitive layout and design
EXPLORE PTIQ
PTIQ

Global Customer Support

Oxford Instruments is committed to providing a comprehensive, flexible and reliable global customer support. We offer excellent quality service throughout the life of your system.

  • Remote diagnostics software provides quick and easy fault diagnosis and resolution.
  • Support contracts are available to suit the budget and situation.
  • Global spares in strategic locations for quick response.
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