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PECVD システム

PECVD (プラズマCVD) プロセスモジュールは、優れた均質性と高速のデポジションを実現するように独自に設計されています。屈折率や応力、電気的特性、ウェットエッチング速度のような、薄膜特性を制御できるようになっています。

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