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プロセス・ソリューション
パワーデバイス

パワーデバイスのソリューション

効率的パワースイッチングデバイスおよび電力変換装置が、電気自動車や地域発電、配電ネットワークなどの新しい技術を実現するために用いられています。SiCGaNのような材料の活用を通じた、デバイス性能の向上により、エネルギー損失の減少に繋がっています。オックスフォード・インストゥルメンツは、原子層堆積プラズマエッチングプラズマデポジションなどのようなプロセス・ソリューションによる、最適化されたデバイスを作製する豊富なノウハウを持っています。

パワーデバイスのソリューション

  • 当社の原子層堆積(ALD)プロセスは、GaN/AlGaNの優れたパッシベーションにより、しきい値電圧の変動を低減します。
  • 当社のGaNエッチングプロセスは最適化されて、プラズマによる損傷を低減し、滑らかなエッチング形状を実現します。
  • エッチング速度は、たった数nm/minに調整して損傷を極めて低くし、たった10~30nmの AlGaNになるよう、エッチングが制御されています。
  • SiCビアエッチングは、優れた側壁品質を保ちながら、高速度を達成します。
  • SiC形状エッチングにより、滑らかなエッチング表面が得られ、最適なデバイス性能が得られます。
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