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ダイヤモンド表面や形状のプラズマエッチング
量子技術とは、原子や電子、光子の持つ量子力学的な「重ね合わせ」と「もつれ」という 2 つの特徴を利用した、次世代のコンピューティング、通信、シミュレーション、センシング技術です。
「重ね合わせ」により、量子力学は複数の状態を同時に持つことができます。また、「もつれ」により共依存性が生じ、1 つのシステムとして機能しながらもネットワークで接続することが可能になります。
20 世紀後半に量子力学の世界を理解することで、フラッシュメモリ、超伝導体、レーザー、LED など、今日最も広く使われている技術のいくつかを実現することができました。今日、私たちは、量子力学的効果の利用をさらに進め、量子状態の制御に基づく新世代の量子デバイスの進化を目の当たりにしています。
量子技術により、一見難解な問題を解決する量子コンピューティングから、ナビゲーション用のセンサー、原子時計、安全なデータ通信まで、新世代のフォトニクスとエレクトロニクスへのアプリケーションが実現されています。
この急速に発展する技術分野では、高精度なデバイス製造用にさまざまな量子材料加工技術が必要とされています。
オックスフォード・インストゥルメンツのプラズマテクノロジーから、量子技術の研究開発とデバイス開発のための最新材料のデポジションとエッチングのプロセスが提供されています。材料のプラズマエッチングとデポジションにおける高い専門知識を使用して、研究者やエンジニアは、単一光子検出器、量子相互接続、トンネル接合、統合量子光学/光工学、NV センターなどの重要な量子デバイスコンポーネントを構築し、幅広い材料で作業することができます。
SiO2 基板表面まで Nb 薄膜の 20 nm を RIE エッチング
16µm のエッチング後の欠陥が無く平滑なダイヤモンド表面
少ないバイアス印加でNbN膜の抵抗率が向上
ALD を用いて作製されたNbN 膜の Tc 測定実験結果 – オックスフォード・インストゥルメンツ ナノサイエンス提供
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PlasmaPro 100 RIE を用いて作製された超電導量子ビットおよび共振器
( University Glasgow 提供 )
当社の PlasmaPro 100 プラットフォームにより、量子デバイスに必要な様々な材料の高精度な デポジションおよびエッチングが可能になります。当社では、今日の量子技術の研究開発およびデバイス開発における種々のアプローチに対して、様々なデバイス製造の課題に対する重要なプロセスソリューションを提供しています。
オックスフォード・インストゥルメンツは、この急速に発展するアプリケーションで最先端のソリューションを提供してきた実績があり、デバイス製造ソリューションを超えて量子技術における重要な役割を担っています。
当社のすべての量子ソリューションの詳細については、こちらをご覧ください。
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