生産工程用ソリューション - Plasma Technology - オックスフォード・インストゥルメンツ

オックスフォード・インストゥルメンツは、世界最高クラスのプラズマエッチングおよびデポジションのプロセス・ソリューションを半導体市場に提供しています。多くの世界をリードする化合物半導体メーカーが当社のシステムを利用し、日々何千もの高機能デバイスを高い信頼性のもと製造しています。

世界中の製造市場にプロセス・ソリューションを提供してきたオックスフォード・インストゥルメンツの経験は、最強のグローバルな英知となり、お客様の先進デバイスのパフォーマンス最大化を支援します。。

オックスフォード・インストゥルメンツの先進的かつ汎用型の製造ツールは、広範な既存市場分野だけでなく、多くの新規市場においても活用できます。

200mmおよび複数ウェハー用のバッチプロセス・モジュールとツール・プラットフォームは、スタンドアローンまたはクラスターシステムとして広範な用途に向けて、優れた均質性と高いスループットを実現します。

お客様が成功するには、世界最高クラスの製品と高レベルのサポートが必要ということを認識しております。当社のグローバルなサービス・グループは、地域エリア事務所と協力し、お客様が世界のどこに居ても、迅速なサポートを提供しています。