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プロセス・ソリューション
レーザー用途

InP系レーザー、垂直共振器型面発光(VCSEL)レーザーの製造

レーザーは、多くの様々な用途に使われています。LIDARから高速の通信用レーザーまで、多くの技術進歩を創出してきました。オックスフォード・インストゥルメンツは、固体レーザーダイオードを製造するのに用いられる、InPやGaAs/AlGaAsのようなⅢ-Ⅴ化合物のプラズマ処理について、長い経験を持っております。

VCSEL製造の高い信頼性

3Dセンサーや光インタコネクトのような、新たな用途におけるVCSELの成功は、優れたデバイス性能によるものです。3Dセンサーにおける高い電力変換効率から、データ通信における高い安定性まで、目標性能を実現するように製造プロセスをサポートします。

VCSEL Process Flow
VCSELs for faster communication

当社には、化合物半導体コミュニティと緊密に連携してきた長い歴史、そしてダイオードレーザー技術に関する20年以上の経験があり、初期の850nmモジュレータを使ったデータ通信の時代から、VCSELメーカーに供給してきました。

当社のVCSELソリューションは、優れた電子光学性能を高い歩留まりでサポートしています。当社のプラズマ加工における高度な専門ノウハウは、VCSELメーカーにおける高品質レーザーの量産を実現します。当社のソリューションは、最大200mmの基板まで処理することが可能です。

InPレーザーを簡単に

InPは高振動数で作動し、大きなデータ量を可能にします。設計と製造が最適化されれば、広い温度範囲でスペクトル純度と光パワーの高いInPレーザーが可能です。光ファイバー通信にとって最適な、1100~2000nmの波長範囲が達成できます。

InP Process Flow
InP lasers for communication

当社は、InPレーザー製造に向けたコスト効率の高い処理ソリューションを構築することにより、増大し続けるデータ伝送需要に対応すべく、通信技術の進歩を直接サポートしていきます。

最大の歩留まりとスループットをもって、最大の光出力を実現するべく、プラズマエッチングとデポジションのソリューションを提供していきます。

報告書とウェビナー


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