SECS/GEM ソフトウェア

半導体製造装置のプロバイダーとして、当社はシステム制御ソフトウェア（PTIQ、PC1000～PC4500）用のSECS/GEM準拠のインターフェイスと、ユーザーの組み込み作業をサポートする技術資料を用意しています。

当社プラズマテクノロジーのシステムは、以下のいずれかが動作するPCから制御されます：

• PTIQ – 当社の最新のソフトウェア プラットフォーム
• PCxシリーズの旧ソフトウェア

PTIQまたはPCシリーズのどちらのシステムであっても、SECS/GEMインターフェースを提供するようにソフトウェアを設定することができます。

技術資料

SECS/GEMインテグレーターが必要とするインターフェースの技術資料を用意しています。これは、当社プラズマテクノロジーのシステムの操作方法に関する情報を補完するものです。

インテグレーション サポート

お客様のインテグレーション開発を一定期間サポートいたします。オンサイトとリモートのみのオプションがあります。