オックスフォード・インストゥルメンツー事業部ページ
「GEM」は、既存の一連の「SECS」規格を基に、「ホスト」によって製造（プロセス）環境（「工場」）内の「機器」を調整／自動化する手段を定義した規格です。これらの規格は、一般的に「SECS/GEM」と呼ばれています。
半導体製造装置のプロバイダーとして、当社はシステム制御ソフトウェア（PTIQ、PC1000～PC4500）用のSECS/GEM準拠のインターフェイスと、ユーザーの組み込み作業をサポートする技術資料を用意しています。
当社プラズマテクノロジーのシステムは、以下のいずれかが動作するPCから制御されます：
PTIQまたはPCシリーズのどちらのシステムであっても、SECS/GEMインターフェースを提供するようにソフトウェアを設定することができます。
SECS/GEMインテグレーターが必要とするインターフェースの技術資料を用意しています。これは、当社プラズマテクノロジーのシステムの操作方法に関する情報を補完するものです。
お客様のインテグレーション開発を一定期間サポートいたします。オンサイトとリモートのみのオプションがあります。
お問い合わせ
この規格はSEMI (国際半導体製造装置材料協会) によって定義されています。
© オックスフォード・インストゥルメンツ 2024
