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Semi Interface Issue #3は量子技術に焦点を当て、プラズマエッチング、成膜、ALD（原子層堆積）、ALE（原子層蒸着）技術における最先端の進歩を特集します。本号ではゲスト編集者としてHarriet van der Vliet博士とNick Chittock博士を迎え、ユネスコが「国際量子科学技術年」と定めた2025年の量子技術の発展を称えます。
本号では量子エコシステムと原子スケール加工技術を探求し、量子分野の世界的リーダーたちの知見を紹介。英国、米国、インド、オーストラリアの専門家による寄稿を特集し、多様な量子応用とアーキテクチャに焦点を当てています。
アイントホーフェン工科大学とOxford Instruments Plasma Technologyは20年間の協業を祝い、ブリストルに新設された最新鋭クリーンルームに関する興奮するニュースも共有します。
本号では、世界中の重要な量子技術の進歩を紹介するとともに、この魅力的な分野の100周年を記念します。
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Oxford Instruments Plasma Technologyの戦略的R&Dマーケティング責任者、Harriet van der Vliet 博士が、今年の記念行事——2025年ユネスコ国際量子年——を振り返りながら、この量子特集号の幕を開けます。 本記事では、量子研究の重要人物であるPeter Knight卿との対談に加え、量子技術の100年が私たちの生活に与えた影響や、記念行事の内容について論じています。
2025年はユネスコにより国際量子年（IYQ）と宣言され、量子力学の発展から100周年を記念する。この1年間にわたる世界的な取り組みは量子科学を称えるものである。
マーケティング責任者であるGrant Baldwinと、GaN パワーエレクトロニクスおよび RF ソリューションの製品マネージャーであるAileen O'Mahony博士が、Oxford Instruments Plasma Technologyが研究開発用および生産用として顧客に提供する 2 種類のプラズマ ALD 製品について論じています。量子および一般的な研究開発から、量産 (HVM) まで、柔軟な能力を備えたPlasmaPro ASPが、 当社のHVMプラズマALDモジュールであるAtomfabにシームレスに移行できることを説明します。
PlasmaPro ASP上で開発されたプロセスは、 シームレスに量産機であるAtomfabへ移行することが可能です。
本稿では、Oxford Instruments Plasma Technologyとアイントホーフェン工科大学（TU/e）による数十年にわたる驚異的な共同研究に焦点を当てます。このパートナーシップはPEALD研究の先導的役割を今も果たし続けています。Oxford Instruments Plasma Technologyの原子スケール部門スペシャリストでありTU/eの非常勤助教授を務めるHarm Knoops博士、当社の戦略的事業開発ディレクターであるKlaas Wisniewski氏、そしてアイントホーフェン工科大学応用物理学部門のErwin Kessels教授（NanoLab@TU/e施設の科学ディレクター）が共同で、この長年にわたる協力の重要性と影響について議論します。
20年以上にわたり、Oxford Instrumentsとアイントホーフェン工科大学（TU/e）は、プラズマ強化原子層堆積（PEALD）の未来を形作り続ける驚くべきパートナーシップを築いてきました。
前回のニュース記事に続き、 アイントホーフェン工科大学の博士課程学生Silke Peetersが、 量子技術向け超伝導金属窒化物のPEALD（プラズマALD）に関する自身の研究グループが取り組む画期的な研究を共有します。 彼女は、PlasmaPro ASPが量子ビット統合量子プロセッサの界面において低損傷状態を維持しつつ高い成膜速度を可能にした方法と、彼らが実証してきた有望な結果について論じています。
量子技術向けのALDが注目を集める中、 量子技術に特化したALD材料とプロセスの開発に 今こそ取り組むべき時である
Russ Renzas 博士は、 ネバダ大学リノ校の デイヴィッドソン財団クリーンルームおよび研究部門の責任者を務めています。 量子分野の経験豊富な専門家であるRussは、本稿において、 量子研究者が今日直面する課題と、 新たに開設されたデイヴィッドソン財団クリーンルームで現在模索されている解決策について、 詳細な洞察を提供しています。
私はすぐに、ほぼ全ての量子デバイスが 同じ二つの課題に直面していることに気づいた： 界面損失と3D相互接続である。
スコットランド、グラスゴーにあるジェームズ・ワット・ナノファブリケーション・センター（JWNC）の 4 人の量子専門家が、JWNC でこれまで、そして現在も進行中の画期的な研究について執筆しています。 Paul Reynolds博士、James Grant博士、Martin Weides教授、Robert Hadfield教授が、量子、フォトニック、半導体研究に焦点を当て、学術界と産業界の双方に関与する同センターが、どのようにして重要な存在となったかを論じています。
JWNCの主要な強みは、学術的卓越性と商業的成果を兼ね備えた自律的な運営モデルにある。
カリフォルニア工科大学（Caltech）工学・応用科学部門副部門長Austin Minnich教授と、同大学ミニッチ研究グループの大学院生Azmain Hossainが、ALEに関する研究について議論する。技術パラメータのスケールが劇的に縮小し続ける中、デバイス界面の品質はかつてないほど重要となっている。量子コンピューティング向け高品質超伝導回路の製造において、ALEが如何に貴重な技術となりつつあるかを論じる。
重要寸法が微細化するにつれ、ALEは サブナノメートルレベルのエッチング深さ制御、低損傷性、 および表面平滑化能力により、その重要性を増している。
Owain Thomas博士（アプリケーション・ソリューションズ・マネージャー）が、Oxford Instruments Plasma Technologyの歴史における画期的なニュースを共有します。 ブリストルに新設された当社の最新鋭デモ用クリーンルーム（面積1,200平方メートル、35システム設置）が稼働を開始しました。Thomas博士は当デモクリーンルームで提供される Plasma Technology ソリューションについて解説。一方、専門製品科学者の一人であるKate Stokes博士は、施設内の包括的な計測ソリューションに焦点を当て、お客様が材料特性に関する比類なき知見を得られることを保証します。
ISOクラス6/5のクリーンルームは、 汚染のない環境を確保し、生産環境の品質と安定性を再現します。
Harriet van der Vliet博士は、シドニー大学ナノ研究所所長、FLiQC所長、Diraq社量子アーキテクチャ上級顧問を務めるStephen Bartlett教授との対談を大変喜ばれた。教授は、オーストラリア各地の研究所が量子技術の開発と進歩に果たしてきた驚くべき貢献について洞察を提供し、量子技術の未来に対する自身の展望について語った。
オーストラリアにおける量子技術に関する数十年にわたる基礎研究は、 我々の研究リーダーシップを確立しただけでなく、 2500人以上の国内外の若手研究者に量子技術に関する能力を育成してきた。
Qmet Tech Foundationのプロジェクトディレクターであり、IITボンベイのPQuestラボ長を務めるKasturi Saha教授は、研究リーダーシップ拠点であるQmetが遂行する画期的な取り組みについて記している。Qmetは資金管理、16機関にわたるイニシアチブの調整、インド全土での学際的連携促進を担っている。同教授はQmetの成功戦略と、グローバル量子産業における主要プレイヤーとなるまでの道筋について論じている。
インド工科大学ボンベイ校のPQuest研究所では、 研究者たちがダイヤモンド中の窒素空孔（NV）中心に基づく量子センシング技術を先駆的に開発している。
Oxford Instruments NanoScienceの製品管理責任者であるJohn Burgoyne博士は、量子技術の新たな時代が近づく中、同社のProteoxS極低温プラットフォームが量子産業の拡大にどのように貢献できるかを共有します。博士は、これらのプラットフォームが既に与えた影響と、量子研究および生産における今後のエキサイティングな展望について語ります。
プロテオックス社の希釈冷凍機ファミリーは、 超電導量子ビットおよびスピン量子ビットに必要なミリケルビン温度域において、 信頼性が高く拡張性のある極低温プラットフォームを提供します。
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