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PTIQのご紹介

研究および生産向けの、高機能で信頼性が高く、直感的なソフトウェア制御

DiagnostIQsを搭載

稼働時間を最大化するための、専門家レベルの診断、校正、および予知保全ツール

AnalytIQs 特集

ログデータの高度な統計分析による、より的確な意思決定とトレンドの追跡

SECS/GEMの統合機能

自動化されたファブ向けのシームレスな工場ホスト接続

PTIQ

研究および生産向けの、高機能で信頼性が高く、直感的なソフトウェア制御

PTIQは、Oxford Instrumentsのシステム向け次世代制御ソフトウェアであり、研究ラボから量産環境まで、あらゆる場面で高度な機能信頼性、そして使いやすさを提供するように設計されています。当社のPlasmaPro、Atomfab、Ionfabプラットフォーム向けに開発されたPTIQは、プロセス制御をよりスマートで再現性が高く、効率的なものへと変革します。

PTIQがワークフローをどのように変革するか、ぜひご覧ください。

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なぜPTIQなのか?


重要な3つの主なメリット:

インテリジェント


PTIQは単に制御するだけでなく、先を見据えています。

  • 先を見据えた準備体制:視覚的なインジケーターがプロセスの準備状況を予測し、問題が発生する前に未然に防ぎます。
  • 校正と診断:故障検出、デバイス識別、および現場での校正を行う高度なツールにより、システムを常に最高のパフォーマンスで稼働させます。
  • データの深さ:ミリ秒レベルの精度と1,000ポイントのロギングにより、プロセスの最適化と再現性に向けた実用的な知見を提供します。
  • スマートスケジューリング:完全にプログラム可能 で自動化されたマルチカセットのロード/アンロードシーケンス。

信頼できる


信頼できる精度とコンプライアンス。

  • 超低遅延:電光石火の応答速度により、究極の制御性と安定性を実現。
  • 高いサンプリングレート:詳細なプロセスデータを取得し、正確な分析と意思決定を実現します。
  • 業界標準:SEMI E95準拠のインターフェースにより互換性が保証され、トレーニング時間を短縮します。
  • 将来を見据えたアーキテクチャ:スケーラブルな設計により、プロセスの進化に合わせて拡張可能で、長期的な信頼性を確保します。

直感的


強力な制御をシンプルに。

  • マルチユーザープロファイル:オペレーター、エンジニア、メンテナンスチームに合わせて最適化された、安全でミスのない操作。
  • 一目でわかるインターフェース:最小限のクリックで重要なデータを確認でき、効率を最大化。
  • タッチスクリーン対応:イエローライトエリアを含む、現代のクリーンルーム環境向けに設計されています。

PTIQギャラリー


当社のスマートで信頼性が高く、直感的なソフトウェアの実際の動作の様子

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高度なソフトウェア機能

PTIQは単なる制御の枠を超え、オプションモジュールでより高度なインテリジェンスを実現します:

DiagnostIQs

詳細な診断。完全な制御。

DiagnostIQsは、システムの稼働時間を最大化し、保守スケジュールを合理化し、運用効率を向上させるための強力なエンジニアリングツールを搭載した、高度な診断・保守システムです:

  • 効率的かつ効果的なシステム保守とトラブルシューティングを実現します。
  • 電子機器の核心まで掘り下げ、システムを完全に制御します。
  • 監視、診断、校正、およびメンテナンスのためのインテリジェントな自動化。

DiagnostIQs モジュール:エンジニアやラボ管理者向けの精密ツール

インテリジェントな診断、校正、および予知保全により、チームの能力を強化しましょう。

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モジュール

販売時点情報管理

アフターサービス

エンジニア分析モードおよびデバイスのキャリブレーション*2

デバイスのフィンガープリンティング

予防保全に関する警告

×3

ツールの沿革

ログファイルの自動エクスポート

DiagnostIQsのユーザートレーニング(マニュアルデータAPIを含む)

注記:

1. すべてのモジュールは、更新可能な年間ライセンスキーによって有効化されます

2. 新規サービスサポート契約をご購入のPTIQのお客様は無料でご利用いただけます。

3. 現在、アフターセールスアップグレードとしてはご利用いただけません。

DiagnostIQsのモジュール – 機能とメリット:

技術解析および装置の校正

詳細な分析。正確な校正。

このモジュールは、エンジニアやラボ管理者に対し、詳細な分析と正確な校正を行うために必要なツールを提供し、システムを最高のパフォーマンスで稼働させ続けます。

  • PLC I/Oの完全な監視とデバイスの直接制御
  • 故障診断、校正、および性能分析
  • アナログレベル、設定値、および読み出し値の現場校正
  • PLCフィンガープリンティング機能により、モジュール間の通信を常時監視し、PLCに障害が発生した場合はアラームを発報します

デバイスのフィンガープリンティング

精度に裏打ちされた洞察

高度なフィンガープリンティング機能により、システムのあらゆる側面を監視・制御します:

  • 遅延や応答時間のパフォーマンス追跡により、将来のメンテナンス要件を予測
  • コンポーネントの予防的な交換やシステムプロセスのパフォーマンス向上のための傾向分析

予防保全に関する警告

システムのダウンタイムを最小限に抑える。

このモジュールにはアキュムレータ機能が搭載されており、以下の機能を備えています:

  • コンポーネントのアクムレータ値に関連する作動回数、状態時間、および消費量(体積、エネルギー)に基づいて、デバイスの使用状況を追跡します。
  • メンテナンス計画のためにコンポーネントの使用状況とデバイスの稼働時間を追跡し、デバイスの使用量が設定値を超えた場合や所定の時間が経過した場合に警告を生成できるようにします。
  • コンポーネントやデバイスを交換する際に値をリセットし、潜在的なリスクや故障の発生箇所ごとの実際の経年劣化や使用状況を反映させます。

なお、「予防保全警告」モジュールは、現在、旧式の既存システムへのアップグレードとして利用できません。また、従来のPCxソフトウェアはRF稼働時間とウェーハ枚数のみを追跡しますが、PTIQ Softwareはさらに一歩進んで、プロセスに関連するすべてのパラメータを監視・記録します

ツールの沿革

業務を可視化し、生産性を最適化します。

プロセスエンジニアやラボマネージャー向けに、ツールの稼働状況をガントチャート形式で表示するほか、ツールの状態(稼働中/停止中)をログとして記録し、運用状況の把握を容易にします。

ログファイルの自動エクスポート

お客様のデータ。必要な場所に確実に届けます。

レシピの実行データをCSVやその他の形式で自動的にエクスポートし、PTIQのWeb APIを介して外部アプリケーションと連携させることで、高度な分析や統合を実現します。

DiagnostIQsのユーザーサポート

24時間365日体制の専門サポート。

マニュアルデータAPIに加え、ライセンス有効期間中は専用のトレーニング資料へのフルアクセスおよび随時サポートをご利用いただけます。

DiagnostIQsの全機能を利用してみませんか?

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AnalytIQs

データログの強力な統計分析により、より賢明な意思決定と、プロセス変動の特定を実現

  • モジュール、レシピ、ステップ、フェーズで絞り込み、分析の対象を絞り込む
  • 注目すべきパラメータを選択し、経時的な変化を追跡する
  • 再利用可能な分析タスクを作成し、モジュールやレシピの経時的な変化を追跡、傾向を可視化し、結果をエクスポートする
  • 実行全体にわたる主要な統計値を算出:最小値、最大値、範囲、平均、標準偏差、標準誤差
  • PTIQ内で傾向を可視化し、コメントを追加し、元のログを詳細に確認
  • CSVにエクスポートし、保存した表示オプションを再読み込みして、一貫性のあるレポートを作成します。
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SECS/GEMファクトリーホスト接続

自動化ファブ向けのシームレスな統合

Oxford Instrumentsの装置をSECS/GEM経由で工場のホストコントローラに接続することで、半導体自動製造環境との完全な互換性を実現します。

ロードマップ上

機能性と効率性を高める新機能が追加されます。これには、より高度な測定、分析、プロセスレポート機能が含まれており、より深い洞察とより賢明な意思決定を実現します。さらに、データ管理の安全性と効率性を向上させ、ワークフローを合理化し、パフォーマンスを向上させるためのバックアップタスクの自動化機能もリリースされます。

高度なソフトウェアオプションで、PTIQの真のポテンシャルを解き放ちましょう。

レガシーシステムから最先端まで――あらゆる要件に対応するシームレスなアップグレードパス。

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なぜPTIQにアップグレードすべきなのか?


従来のPC2000やPC4500Softwareをご利用中の方は、今こそシステムの将来性を確保すべき時です。PTIQ Softwareは、次世代の制御機能、応答性と拡張性の向上、そして研究の柔軟性と生産スループットの信頼性の両方を考慮して設計された直感的なユーザー体験を提供します。

柔軟なアップグレードパス:

  • DiagnostIQsの有無にかかわらずアップグレードできます。
  • サイト全体を対象としたプランで、一貫したユーザー体験と長期的なサポートを提供します。
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PTIQの実際の活用例をご覧ください

PTIQが、インテリジェンス信頼性直感的なデザインを融合させ、お客様のワークフローをいかに変革するかをご覧ください。デモをご請求いただければ、大手半導体工場や研究機関がPTIQへの移行を進めている理由をご確認いただけます。

当社の最先端プロセス制御機能を活用する準備はできていますか?

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PTIQ よくある質問

PTIQについてご質問がある場合は、よくある質問(FAQ)ページをご覧ください。よくある質問への回答がすぐに見つかります。

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