Oxford Instruments、次世代AI向け自動化6インチInPウエハー加工をコヒーレント社に提供
PTIQは、Oxford Instrumentsのシステム向け次世代制御ソフトウェアであり、研究ラボから量産環境まで、あらゆる場面で高度な機能、信頼性、そして使いやすさを提供するように設計されています。当社のPlasmaPro、Atomfab、Ionfabプラットフォーム向けに開発されたPTIQは、プロセス制御をよりスマートで再現性が高く、効率的なものへと変革します。
PTIQがワークフローをどのように変革するか、ぜひご覧ください。
PTIQは単に制御するだけでなく、先を見据えています。
信頼できる精度とコンプライアンス。
強力な制御をシンプルに。
DiagnostIQsは、システムの稼働時間を最大化し、保守スケジュールを合理化し、運用効率を向上させるための強力なエンジニアリングツールを搭載した、高度な診断・保守システムです:
インテリジェントな診断、校正、および予知保全により、チームの能力を強化しましょう。
モジュール |
販売時点情報管理 |
アフターサービス |
エンジニア分析モードおよびデバイスのキャリブレーション*2 |
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デバイスのフィンガープリンティング |
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予防保全に関する警告 |
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ツールの沿革 |
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ログファイルの自動エクスポート |
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DiagnostIQsのユーザートレーニング(マニュアルデータAPIを含む) |
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注記: 1. すべてのモジュールは、更新可能な年間ライセンスキーによって有効化されます 2. 新規サービスサポート契約をご購入のPTIQのお客様は無料でご利用いただけます。 3. 現在、アフターセールスアップグレードとしてはご利用いただけません。 | ||
このモジュールは、エンジニアやラボ管理者に対し、詳細な分析と正確な校正を行うために必要なツールを提供し、システムを最高のパフォーマンスで稼働させ続けます。
高度なフィンガープリンティング機能により、システムのあらゆる側面を監視・制御します:
このモジュールにはアキュムレータ機能が搭載されており、以下の機能を備えています:
なお、「予防保全警告」モジュールは、現在、旧式の既存システムへのアップグレードとして利用できません。また、従来のPCxソフトウェアはRF稼働時間とウェーハ枚数のみを追跡しますが、PTIQ Softwareはさらに一歩進んで、プロセスに関連するすべてのパラメータを監視・記録します。
プロセスエンジニアやラボマネージャー向けに、ツールの稼働状況をガントチャート形式で表示するほか、ツールの状態(稼働中/停止中)をログとして記録し、運用状況の把握を容易にします。
レシピの実行データをCSVやその他の形式で自動的にエクスポートし、PTIQのWeb APIを介して外部アプリケーションと連携させることで、高度な分析や統合を実現します。
マニュアルデータAPIに加え、ライセンス有効期間中は専用のトレーニング資料へのフルアクセスおよび随時サポートをご利用いただけます。
Oxford Instrumentsの装置をSECS/GEM経由で工場のホストコントローラに接続することで、半導体自動製造環境との完全な互換性を実現します。
機能性と効率性を高める新機能が追加されます。これには、より高度な測定、分析、プロセスレポート機能が含まれており、より深い洞察とより賢明な意思決定を実現します。さらに、データ管理の安全性と効率性を向上させ、ワークフローを合理化し、パフォーマンスを向上させるためのバックアップタスクの自動化機能もリリースされます。
高度なソフトウェアオプションで、PTIQの真のポテンシャルを解き放ちましょう。
レガシーシステムから最先端まで――あらゆる要件に対応するシームレスなアップグレードパス。
従来のPC2000やPC4500Softwareをご利用中の方は、今こそシステムの将来性を確保すべき時です。PTIQ Softwareは、次世代の制御機能、応答性と拡張性の向上、そして研究の柔軟性と生産スループットの信頼性の両方を考慮して設計された直感的なユーザー体験を提供します。
PTIQが、インテリジェンス、信頼性、直感的なデザインを融合させ、お客様のワークフローをいかに変革するかをご覧ください。デモをご請求いただければ、大手半導体工場や研究機関がPTIQへの移行を進めている理由をご確認いただけます。
当社の最先端プロセス制御機能を活用する準備はできていますか?
PTIQについてご質問がある場合は、よくある質問(FAQ)ページをご覧ください。よくある質問への回答がすぐに見つかります。