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PTIQ のご紹介

PTIQ は、PlasmaPro や Atomfab プロセスシステム用の
最新ソフトウェア ソリューションです。

  • 抜群に応答性高いシステム制御
  • システムおよびプロセスのパフォーマンスを最適化
  • ユーザーフレンドリーなデザイン
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スマートなソフトウェア  パワフルなソリューション

PTIQは、Plasma Technology社製プロセスシステム用の最新スマート ソフトウェア ソリューションです。パワフルなスケジュール機能と優れたレポートツールにより、抜群のシステム制御を実現し、プロセス効率の向上とワークフローの新たな可能性を切り開きます。また、PTIQソフトウェアは、ラボとファブにおけるシステムとプロセスのパフォーマンスを最適化し、施設の要件に合わせてさまざまなレベルのソフトウェアを利用できます。

注:現在、PTIQソフトウェアに不具合が発生していますが、非常に特殊なレシピ編集に限定されているため、通常はこの問題に悩まされることはありません。この問題をデバッグするために、こちらをクリックしてください。

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PTIQを使用するメリット

ユーザーフレンドリーなデザイン

  • 一目瞭然のデザインにより、最小限のクリックで情報や操作にアクセスでき、ユーザーの生産性を大幅に向上
  • システムコンポーネントは、プロセスエンジニアにはハイレベルで、メンテナンスエンジニアにはLabViewスタイルの機能図で表現し、システムアーキテクチャをより理解できるように表示
  • イエローライトの多い製造現場での使用を想定したハイコントラストなカラースキーム
  • ユーザーからのリクエストに応えた、タッチスクリーン

オペレーションの準備と正確性

  • システムプロセスの準備状況を示すインジケーターに、ユーザーが運用上の問題を早期に回避し、より良いプロセス結果を得られるようなサインが表示。社内のベストプラクティスの経験から生まれたこの機能は、あらゆる経験レベルのユーザーをサポートします。
  • レシピの実行結果を比較することで、時間の経過とともに、クリーニングなどのイベントの前後で、信頼性の高いプロセスを繰り返し、プロセス開発を加速させることができます。
  • ミリ秒単位の精度と1000ポイントのデータログにより、データの照会が容易
PTIQ screen layout

PTIQ 画面レイアウト

 


フレキシビリティと信頼性

  • SEMI 95ヒューマンインターフェース規格に準拠し、オペレーターやエンジニアに使い慣れた操作性を提供することで、より迅速な立ち上げと運用が可能
  • あらゆるクリーンルーム環境において、エラーなく複数人で使用できるようにカスタマイズ可能

機能

レシピ

  • プロセスデータシートとして編集可能なレシピで、エラーなく、簡単に使用することができます。
  • プライベートモードでレシピを作成し、マルチユーザー環境でのセキュリティを強化。
  • 実行結果は特定のレシピのバージョンにリンクされ、トレーサビリティを向上させることができます。
  • レシピには、リークアップ率やMFC充填率などの標準的なチェック項目が含まれており、ウェハプロセス前に性能を確認できるため、介入を自動化して効率を高めることができます。
  • ステップごとに許容値を設定できるようになり、より精緻なプロセス制御が可能になりました。

パーミッションとスケジュール

  • ユーザーアカウントと連動した端末操作で、セキュアな利用が可能
  • ユーザーアカウントにリンクされた設定オプション(圧力単位、バッチオプションなど)により、ユーザーエクスペリエンスをチューニングし、生産性を向上させることができます。
  • ウェハリフト、静電クランプ、ウェハ予備加熱を含めたウェハ搬送とチャンバーのオーバーラップ運転が可能で、スループットを向上させることができます。

ソフトウェア オプション

SECS/GEM Factory Host Connection

自動化された半導体工場で使用するために、SECS/GEMリンクを介してオックスフォードの機器を工場のホストコントローラに接続するソフトウェアモジュールです。

AnalytIQs

PTIQ AnalytIQsは、システムの稼働時間を最大化するための分析ツールセットで、データの統計分析を通じてプロセスログデータをより深く理解し解釈することができます。PTIQ LogViewerをさらに拡張し、すべてのシステムパラメーターの追跡と分析を可能にします。

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ロードマップ

AnalytIQs Pro

プロセス中に取得したデータを測定、分析、報告するための上位モジュールです。

DiagnostIQs

セルフメンテナンス システムやトラブルシューティングに不可欠なエンジニア向け解析ツールセットにより、機器を制御する電子機器の中枢部まで掘り下げることができます。これらは、オックスフォード・インストゥルメンツのカスタマーサポートエンジニアが利用できるツールと同じものです。

PTIQ Backup

このプレミアムモジュールは、レシピ、設定、プロセス実行データをリモートコンピュータに定期的にバックアップする役割を担っています。

これは、アーカイブのため、または必要に応じて外部処理のためにデータを転送するために使用されます。

PCシリーズからアップグレード

現在PC2000またはPC4500をお使いのお客様が、PTIQにアップグレードする場合にも、いくつかのアップグレードパスが用意されています。アップグレードが完了すると、自動的にオックスフォード・インストゥルメンツのソフトウェア保証契約に登録されます。

また、サイト全体のPTIQアップグレードプランもございますので、サイト全体を割引料金でアップグレードし、今後のソフトウェアサポートの継続性を確保することができます。

PTIQ のデバッグ機能

PTIQコントロールソフトウェアに不具合が確認されておりますので、ご報告いたします。この問題は、2021.13.02までのPTIQのすべてのバージョンに該当します。この問題は、非常に特殊なレシピ編集(レシピステップ内でサブステップを使用する)に限定されているため、通常はこの問題に悩まされることはありません。この問題をデバッグするために、こちらをご覧ください。

PTIQ ソフトウェア デモ

当社は新しいソフトウェアに大変な自信を持っており、実際に動作しているところをご覧いただきたいと思っています。ライブデモのウェビナーがオンデマンドで視聴できるようになりました。

PTIQのメリットとその効果についてご確認いただくことができます。

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