White Paper
原子層堆積法 (ALD)を使用して、安定で高効率ペロブスカイト太陽電池を目指して

有機-無機ハイブリッド型ペロブスカイト太陽電池は、高い変換効率と低コストの両立が期待できるため、重点的に研究開発が行われています。しかしながら、これまでのところ、環境面でのデバイスの安定性が大きな問題となっています。これらのセルの安定性を向上させるために、高効率を維持または達成するという制約を加えたさまざまな手段が研究されています。非常に有望視されている手段の一つは、デバイスの設計に無機薄膜を使用することです。

薄膜成長の優れた制御と高品質性を持つALDは、この目的のための重要な技術と考えられています。主に研究用ですが、パイロット生産用としても、プロセス範囲が広く、プラズマとサーマルの両方が可能なフレキシブルなツールが望まれています。オックスフォード・インストゥルメンツのFlexALおよびOpALツールは、この点で理想的です。このホワイトペーパーの目的は、ALDとは何か、そしてペロブスカイト太陽電池に利益をもたらすためにALDをどのように使用できるかについて、実用的な概要を説明することです。

これらの利点を説明するために、オックスフォード・インストゥルメンツの装置が利用されている最近の文献をいくつか紹介します。