リアクティブイオンエッチング / プラズマ励起 (RIE/PE)

リアクティブイオンエッチングとプラズマ励起（RIE-PE）は、単一ツールの中で、2つのシンプルなプラズマ発生技術を組み合わせています。

RIEでは、サンプルがセットされる定盤に加速電圧が負荷され、プラズマからイオンを引き出しますので、方向性が強く高速のエッチングが実現します。PEでは、加速電圧は負荷されませんので、より等方的なエッチングが生じます。