イオンビームシステム

イオンビームエッチングは、優れた均一性と相まって最大限の柔軟性を実現し、幅広いアプリケーションに適しています。当社のシステムには、オープンロード、シングル基板ロードロック、カセット式を含む柔軟なハードウェアオプションがあります。システム仕様はアプリケーションに密接にチューニングされ、高速で再現性の高いプロセス結果を実現します。