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Advanced Energy社製Paramountジェネレータ

Advanced Energy社製Paramountジェネレータ

当社製品対応のジェネレータ(電源)の製造元である Advanced Energy社は、いくつかのユニットの廃止を発表しましたが、優れた代替品を提供できますことをお知らせいたします。

Advanced Energy社のParamountジェネレータは、オックスフォード・インストゥルメンツの高周波 (HF) RIE、ICPおよびスパッタ工程に対応した最新のビルド仕様となっています。デジタル制御および位相同期の使用により、信頼性とプラズマの安定性が向上します。

廃止ユニット新オプション特長
RFG 1251Paramount 1.5KW Base Generator13.56 MHz, <10ms Tune Time, Power Accuracy ±1 W or ±1% of set point, whichever is greater.
RFG 3001Paramount 3KW Generator13.56 MHz, <10ms Tune Time, ±1 W or ±1% of set point, whichever is greater.

利点

  • RF伝送システムの複雑さを軽減
  • 前例のないパワーデリバリー精度で膜の均一性およびスループットを最適化
  • シームレスで迅速なプロセス移行が可能
  • アークによる汚染やダメージを低減
  • 高度なパルス化およびパルス同期を実現
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