高速かつ正確な自動圧力制御

このコントローラは、非常に高速で正確な圧力制御を実現します。システムパラメータは、アップグレード後の最初の起動時にツール内で自動的に設定されます。適応アルゴリズムにより、コントローラはプロセス条件（ガスの種類、ガス流量）に継続的に適応し、いつでも最適な圧力制御を実現します。

APCは、プリカーサ（前駆体）の投入ステップにおいてポンピングを制限するために使用されます。反応が遅いプリカーサでは、長い露光時間が必要な場合が多く、また高アスペクト比の形状への蒸着が必要な場合もあります。