大気装入システム

大気装入プロセスモジュールには、450mmサイズのプラットフォームにより、単一ウェハーまたは複数ウェハーのバッチ処理能力があります。
このプロセスモジュールは、優れた均質性、高スループット、高精度のプロセスを実現します。