オックスフォード・インストゥルメンツツの一部
拡張

大気装入システム

大気装入プロセスモジュールには、450mmサイズのプラットフォームにより、単一ウェハーまたは複数ウェハーのバッチ処理能力があります。
このプロセスモジュールは、優れた均質性、高スループット、高精度のプロセスを実現します。

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