研究用のクラスターツール - オックスフォード・インストゥルメンツ

研究用のクラスターツール

製造工程は、カセット方式または単一ウェハー装入方式のどちらかのオプションにより、技術とプロセスのクラスターとして結合することができます。

六角形状または正方形状のチェンバー移送配置が用意されています。

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