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研究用のクラスターツール
製造工程は、カセット方式または単一ウェハー装入方式のどちらかのオプションにより、技術とプロセスのクラスターとして結合することができます。
六角形状または正方形状のチェンバー移送配置が用意されています。
詳細情報についてはこちら
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