単一真空予備室システム

単一真空予備室プロセスモジュールには、200 mmサイズのプラットフォームにより、単一ウェハーまたは複数ウェハーのバッチ処理能力があります。
このプロセスモジュールは、優れた均質性、高スループット、高精度のプロセスを実現します。このツールは、多くの実績を持ち、90%以上の稼働率、そしてウェハー装入時の迅速な立ち上がりが確実なプロセスを実現します。