オックスフォード・インストゥルメンツー事業部ページ

拡張

Collapse

オックスフォード・インストゥルメンツ

アプリケーション

プロダクト

お問い合わせ

IR情報採用情報新卒採用情報ニュースイベントお問い合わせ

cn

cn

IR情報採用情報

About Us

当社の最新設備当社の設備ニュースイベント製造向けソリューション研究開発向けソリューションサステナビリティ

マーケット

2次元材料拡張現実バイオメディカルデバイス故障解析高輝度LED

MEMS・センサー IRセンサーレーザーマイクロLED

パワーデバイス量子技術 RFデバイス VCSEL

テクノロジー

プラズマエッチングリアクティブイオンエッチング (RIE)プラズマRIE (RIE-PE)誘導結合プラズマ RIE (ICP RIE)シリコン深堀 RIE (DRIE)プラズマ研磨ドライエッチング (PPDE)

イオンビーム

イオンビームデポジション (IBD)イオンビームエッチング (IBE)

プラズマデポジション

プラズマ CVD (PECVD)誘導結合プラズマCVD (ICPCVD)化学気相堆積 (CVD)

原子スケール

原子層堆積 (ALD)原子層エッチング (ALE)原子スケールプロセス (ASP)

マテリアル & プロセス SiC SiO₂ Al₂O₃ Cr AlGaN/GaN Browse more...

プロダクト

ICP RIE エッチング PlasmaPro 80 ICP RIE PlasmaPro 100 Cobra ICP RIE PlasmaPro 100 Cobra GaAs VCSEL PlasmaPro 100 Polaris ICP RIE RIE エッチング PlasmaPro 80 RIE PlasmaPro 100 RIE PlasmaPro 800 RIE

DSiE シリコン深堀エッチング

PlasmaPro 100 Estrelas DSiE

PECVD PlasmaPro 80 PECVD PlasmaPro 100 PECVD PlasmaPro 800 PECVD ICPCVD PlasmaPro 100 ICPCVD CVD PlasmaPro 100 Nano CVD

ALD 原子層堆積 Atomfab ALD PlasmaPro ASP FlexAL ALD

ALE 原子層エッチング

PlasmaPro 100 ALE PlasmaPro 100 with Etchpoint

イオンビーム

Ionfab IBE Ionfab IBD

ソフトウェア

PTIQ ソフトウェア SECS/GEM ソフトウェア

Semi Interface Autumn 2024 - Oxford Instruments Plasma Technology

ライブラリ

ブログ Semi Interface Magazine プロセスNews ビデオウェビナー White paper (技術資料)導入事例カスタマーギャラリーユーザーからの論文のご紹介

Service & Support

サービス契約アップグレード & ソフトウェア PTIQ ソフトウェアスペアトレーニングチームビュワー

Raise a Support Ticket

お問い合わせ

Windows 10 Update - Oxford Instruments

お問い合わせ

ニュース

イベント

お問い合わせ

eコマース

ホーム
プロセス
LiNbO3

Lithium Niobate

Lithium Niobate (LiNbO₃)is used in in Surface Acoustic Wave (SAW) and related devices used in the communications industry. LiNbO₃ and it's related films may be dry etched using the Inductively Coupled Plasma (ICP) process.

Wafer size: up to 200mm
- Product: PlasmaPro 100 / PlasmaPro 100 Polaris

More on ICP Request more information

First Name *

Last Name *

Email *

Country/Region *

US State *

Canadian Province *

選択
Alberta
British Columbia
Manitoba
New Brunswick
Newfoundland and Labrador
Northwest Territories
Nova Scotia
Nunavut
Ontario
Prince Edward Island
Quebec
Saskatchewan
Yukon

Chinese Province *

German Province *

選択
Baden-Württemberg
Bavaria
Berlin
Brandenburg
Bremen
Hamburg
Hesse
Lower Saxony
Mecklenburg-Vorpommern
North Rhine-Westphalia
Rhineland-Palatinate
Saarland
Saxony
Saxony-Anhalt
Schleswig-Holstein
Thuringia

Company/Organisation *

What is your primary research area *

Select an option
Sensors - Bio
Sensors - MEMS
Discretes - GaN PE/RF
Discretes - SiC PE
Central R&D Cleanroom
Opto - GaAs/InP Datacom
Opto - 3D Sensor
Opto - uLED and AR/AV
Quantum Technology
Nano-Carbon & 2D Materials

What are your other research areas

下記より選択してください。
Sensors - Bio
Sensors - MEMS
Discretes - GaN PE/RF
Discretes - SiC PE
Central R&D Cleanroom
Opto - GaAs/InP Datacom
Opto - 3D Sensor
Opto - uLED and AR/AV
Quantum Technology
Nano-Carbon & 2D Materials

How can we help you *

Select an option
Actively looking to buy
Looking to buy within 1 year
Investigating technologies for my application
Expanding my knowledge

Job Title *

Telephone Number

Message

Would you like to receive occasional emails about our products, applications and events?*

Yes

No

By submitting this form I agree that Oxford Instruments will process my data in the manner described in the Privacy Policy

Related Products

PlasmaPro 100 Cobra ICP RIE　エッチングシステム

PlasmaPro 80 ICP RIE

新しくタブを開く

著作権ステートメント
Sustainability
Modern Slavery

Gender Pay Report
情報の登録
Website利用条件

個人情報
免責事項
サイト・マップ

© オックスフォード・インストゥルメンツ 2024

このウエブサイトは、ミラマー・コミュニケーション Ltd