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LiNbO3

Lithium Niobate

Lithium Niobate (LiNbO₃)is used in in Surface Acoustic Wave (SAW) and related devices used in the communications industry. LiNbO₃ and it's related films may be dry etched using the Inductively Coupled Plasma (ICP) process.

Wafer size: up to 200mm
- Product: PlasmaPro 100 / PlasmaPro 100 Polaris

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