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LiTaO3

Lithium Tantalate

Lithium Tantalate (LiTaO₃) is used in in Surface Acoustic Wave (SAW) and non liner optics. LiTaO₃ and related films may be dry etched using the Inductively Coupled Plasma (ICP) process.

Wafer size: up to 100mm
- Product: PlasmaPro 100

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