当社製品対応のジェネレータ(電源)の製造元である Advanced Energy社は、いくつかのユニットの廃止を発表しましたが、優れた代替品を提供できますことをお知らせいたします。
Advanced Energy社のParamountジェネレータは、オックスフォード・インストゥルメンツの高周波 (HF) RIE、ICPおよびスパッタ工程に対応した最新のビルド仕様となっています。デジタル制御および位相同期の使用により、信頼性とプラズマの安定性が向上します。
廃止ユニット | 新オプション | 特長 |
RFG 1251 | Paramount 1.5KW Base Generator | 13.56 MHz, <10ms Tune Time, Power Accuracy ±1 W or ±1% of set point, whichever is greater. |
RFG 3001 | Paramount 3KW Generator | 13.56 MHz, <10ms Tune Time, ±1 W or ±1% of set point, whichever is greater. |