高速かつ正確な自動圧力制御

このコントローラは、非常に高速で正確な圧力制御を実現します。システムパラメータは、アップグレード後の最初の起動時にツール内で自動的に設定されます。適応アルゴリズムにより、コントローラはプロセス条件（ガスの種類、ガス流量）に継続的に適応し、いつでも最適な圧力制御を実現します。

APCは、プリカーサ（前駆体）の投入ステップにおいてポンピングを制限するために使用されます。反応が遅いプリカーサでは、長い露光時間が必要な場合が多く、また高アスペクト比の形状への蒸着が必要な場合もあります。

特長と利点

• 反応の遅いプリカーサ（ハフニウムなど）の効率を向上させる
• 高アスペクト比の形状への蒸着が可能
• サンプリングレート： 10 ms
• 制御精度： 5 mVまたは最大センサ範囲の0.1%のいずれか大きい方
• ステップ分解能: 20 000 （ステップ = 0 - 90°回転）
• 制御バルブは高速で強力なアクチュエータを搭載
• 高性能の内蔵コントローラ
• 非常に短い制御応答時間および位置表示
• 自動メンテナンス表示
• 汚染プロセスに対する優れた耐性