プラズマシステム用バーコードリーダーソフトウェア

• ウェーハの詳細を迅速かつ正確に記録
• ウェーハのロットを追跡する際のユーザーエラーを完全に排除
• お客様のバーコード要求に合わせたカスタマイズ可能なソフトウェア
• お客様のバーコードスキームに設備を組み込み可能
• 自動レシピ選択
• 正確で迅速なウェーハロットアクティビティ
• データはすぐに入手でき、ウェーハがどこにあるかすぐにアクセス可能
  
  

搭載機能

• キーボード入力の代わりに、バーコードスキャナを使ってバッチ／ロットやレシピ情報を入力可能。
• バッチ／ロットやレシピ情報を入力する際のオペレーターのミスを減らし、工場のオートメーションシステムとの統合を容易にします。
• システムに情報を入力する際のオペレーターの処理能力を向上。
• オペレーターのエラー率を低減。
• すべてのPC200/PC4500システムで利用可能。
• PC3000/PC3500システムでは利用できません。
• バーコードスキャナーを使用して、個々のバッチに必要な情報を入力
• バッチ名、ロット名、レシピ名、ウェーハ名を、お客様の要求やツールタイプに応じて入力可能