HIDEN HMT RGA アップグレード

• 4 x 10-3 mbar (3 m Torr) までの高圧オペレーションが可能なHMTモード
• 10-13 mbar (7.5 x 10-14 Torr) までの高感度オペレーションが可能なRGAモード 
• 質量レンジ 100 amu
• 24時間にわたり±1％以下の安定性
• 高速アクセスの混合モードスキャン
• リアルタイムのバックグラウンド除去
• リアルタイムでプロセスを監視できるWin 7専用PCを提供

利点：

• 清浄度フィンガープリントのモニタリングとコンタミネーションの測定による再現性の向上
• プロセスガスの比率を測定し、MFCと比較することで精度を向上
• 表面反応による揮発性の生成物を調べることで、化学的な知見が得られます

下記に対してすぐれたツールです：

• ベークアウトサイクル
• ポンプ性能の監視
• リーク検出
• 仮想リーク/脱離
• ガス放出調査