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UPGRADES
HIDEN HMT RGA

HIDEN HMT RGA アップグレード

主な特長:

  • 4 x 10-3 mbar (3 m Torr) までの高圧オペレーションが可能なHMTモード
  • 10-13 mbar (7.5 x 10-14 Torr) までの高感度オペレーションが可能なRGAモード 
  • 質量レンジ 100 amu
  • 24時間にわたり±1%以下の安定性
  • 高速アクセスの混合モードスキャン
  • リアルタイムのバックグラウンド除去
  • リアルタイムでプロセスを監視できるWin 7専用PCを提供

利点:

  • 清浄度フィンガープリントのモニタリングとコンタミネーションの測定による再現性の向上
  • プロセスガスの比率を測定し、MFCと比較することで精度を向上
  • 表面反応による揮発性の生成物を調べることで、化学的な知見が得られます

下記に対してすぐれたツールです:

  • ベークアウトサイクル
  • ポンプ性能の監視
  • リーク検出
  • 仮想リーク/脱離
  • ガス放出調査
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