システムのステータスを簡単に監視できるライトタワーのアップグレード

主な特長*:

• 複数のステータスを表示：
  • プロセス開始
  • スタンバイ
  • ベント準備完了
  • ベント終了
  • システムに介入が必要
• 3種類のライト – 赤，アンバー，緑
• ツールの上部に取り付けられ、ほぼすべての角度から見えます。

特に、クリーンルーム内に入らずに見ることができれば、時間が節約できます。

利点：

• ツールのステータスをひと目で確認できます。
• ソフトウェアなしでツールのステータスを確認できます。
• プロセスが終了したらすぐに確認できます。
• 問題が生じた場合すぐに視覚的にわかります。

ご注意：このライトタワーのアップグレードは、PlasmaPro 80，800，100をご使用の場合、X20ソフトウェアでのみ利用可能です。