Nanomaterial Growth and Characterisation

CVD/PECVDは、1D/2Dのナノ材料とヘテロ構造の成膜に適したツールです。Nanofabは、その場触媒活性化と厳格なプロセス制御により、ナノ材料の高い成膜特性を実現します。

FlexALシステムは、単一のALDシステムにおいて、リモートプラズマ原子層堆積（ALD）プロセスおよび熱ALDを実現し、ナノスケール構造およびデバイスの製造において、新しい柔軟性と性能範囲を提供します。