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Growth and Characterisation of 2D materials, quantum dots and nanowire-based materials
CVD/PECVDは、1D/2Dのナノ材料とヘテロ構造の成膜に適したツールです。Nanofabは、その場触媒活性化と厳格なプロセス制御により、ナノ材料の高い成膜特性を実現します。
FlexALシステムは、単一のALDシステムにおいて、リモートプラズマ原子層堆積(ALD)プロセスおよび熱ALDを実現し、ナノスケール構造およびデバイスの製造において、新しい柔軟性と性能範囲を提供します。