オックスフォード・インストゥルメンツツの一部
拡張

カセット交換式の製造ツール

製造工程は、カセット方式または単一ウェハー装入方式のどちらかのオプションにより、技術とプロセスのクラスターとして結合することができます。
六角形状または正方形状のチェンバー移送配置が用意されています。

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