柔軟性を高めるガスポッドのアップグレード

オックスフォード・インストゥルメンツのガスポッドは、追加のガスラインを組み込むことが可能であり、ユーザーに高い柔軟性を提供します。ユーザーの要求の変化に応じて、ラインを追加可能です。

利点

• 有毒および毒性のないガスに適応
• すべてのオックスフォード・インストゥルメンツPlasmaProシステムで利用可能（Ionfabツールのアップグレードは、利用可能かどうか個別に検討されます）
• 最大12本のガスラインに対応（ガスポッドの構成によって異なります）
• インストールは迅速かつ容易
• 最新バージョンのマスフローコントローラ（MFC）を設置可能
• 柔軟性が向上し、各プロセスのチャンバーで利用できるプロセスの種類が増加
• 業界標準のMFCマウントにより、異なるメーカーのMFCを設置可能