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PlasmaPro 80 RIE

PlasmaPro 80 リアクティブイオンエッチング(RIE)は、コンパクトな省スペースのシステムであり、多様なエッチングとデポジションのソリューションを、使い易い大気装入方式で実現できます。設置や使用が簡単ですが、プロセスの品質はそのままです。大気装入設計は、迅速なウェハー装入と抽出を可能にし、研究やプロトタイプ、少量生産に理想的です。最適化された電極冷却および優れた基板温度の制御により、高性能プロセスを実現します。

  • 大気装入設計により、迅速なウェハー装入と抽出が可能

  • 優れたエッチング制御および最適エッチング速度が可能

  • 優れたウェハー温度の均質性を実現

  • 最大200mmまでのウェハー処理が可能

  • 所有コストが低い

  • 安全ガイドラインSemi S2/S8基準に準拠


お問い合わせ

  • コンパクト - 設置が容易
  • 最適化された電極冷却機能 - 基板の温度制御
  • 高コンダクタンスのラジアル(軸対称)ポンプ - さらなるプロセス均一性と速度を保証
  • 500ms以下のデータロガー機能 - チャンバーやプロセス条件のトレーサビリティと履歴を残すことが可能
  • クローズカップリング・ターボポンプ - 高いポンプスピードと優れたベース圧力
  • 主要部品への明確なアクセシビリティ - 整備性・メンテナンス性の向上
  • X20 コントロールシステム - データ検索性を大幅に向上させ、より速く、より再現性の高いマッチングを実現
  • フロントエンド ソフトウェアによる障害およびツールの診断 - 迅速な故障診断
  • 干渉計を用いたレーザーエンドポイント検出 - 反射面上の透明材料 (Si 上の酸化物など) のエッチング深さを測定するか、不透明材料 (金属など) の反射率を測定して層の境界を決定
  • 大容量サンプルまたはバッチプロセスのエンドポイント測定用光学発光分光分析(OES) - エッチング副生成物の変化や反応性ガス種の消耗を検出し、チャンバークリーニングのエンドポイント測定に使用
  • III-V 化合物半導体のエッチングプロセス
  • シリコンのボッシュプロセスおよび低温エッチングプロセス
  • ダイヤモンドライクカーボン(DLC)のデポジション
  • SiO2 と石英エッチング
  • 特別仕様の PlasmaPro FA ツールによる、パッケージチップおよびダイのエッチングから最大200mmウェハのエッチングなど、故障解析ドライエッチング剥離処理
  • 高輝度LED製造向けハードマスク エッチング
RIE of InP waveguide

InP 導波路の RIE

7 μm polyimide feature RIE

RIE による 7 μm ポリイミド構造

PlasmaPro 80 カタログダウンロード

導入事例

当社のPlasmaPro® 80 RIEを使用して、量子技術や光デバイスに関する研究を行っているロンドン大学 (UCL) の2名のシニアリサーチフェローの方々に感想をお聞きする機会がありました。

Oscar Kennedy 博士は、PlasmaPro RIE システムを使用して超電導 NbN 膜をエッチングして超電導回路を作成しましています。また、Wing Ng 博士は、RIE システムを使用し、一対のチップベースの光バッファ用導波路間に、平滑な側壁の50 nm のギャップを正確にパターン化しました。

リアクティブイオン エッチングは、半導体デバイスの製造において優れたプロセス制御を提供し、多くのデバイス製造プロセスで使用されています。


お客様の声

"PlasmaPro RIEを使用すると、非常に強力な化学クリーニングを行った後に、直ちに基板上に超電導材料のデポジションが可能になります。使いやすく、簡単で、強力かつ短時間で結果を得ることができます"

Dr Oscar Kennedy, UCLQ Postdoctoral Fellow

"オックスフォードの RIE システムは、プロセスにおける高い柔軟性と、ガスとプラズマパワーの優れた制御が可能です"

Dr Wing Ng, Senior Research Fellow at UCL

グローバルな、お客様サポート

オックスフォード・インストゥルメンツは、総括的で柔軟、かつ信頼できる、グローバルなお客様サポートをお約束しています。お客様のシステムが稼働している期間、高品質のサービスを提供します。

  • 遠隔診断ソフトウェアにより、迅速で簡便な欠陥診断と問題解決を実現します。
  • ご予算と状況に合わせた、サポート契約も用意しております。
  • 迅速な対応を実現するため、戦略拠点にグローバル予備品を揃えています。
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