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エッチングとデポジションのプロセス・ソリューションで世界をリード
オックスフォード・インストゥルメンツのプラズマテクノロジー


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RESEARCH & DEVELOPMENT SOLUTIONS


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最新ニュース

マーケット・アプリケーション

幅広い分野の半導体製造に当社のプラズマ技術が採用されています。
当社独自のソリューションは原子レベルでの極めて精緻なデバイス製造や微細加工が可能です。

世界をリードするシステム

当社のエッチング・デポジション技術は、優れたパフォーマンスと信頼性、柔軟性を誇ります。
装置は研究開発用のロードロック型から量産用の拡張型システムまでをラインナップしています。

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