オックスフォード・インストゥルメンツー事業部ページ
拡張
Service & Support
アップグレード

システムごとのアップグレード

PECVD RIE ICP Ion Beam CVD ALD
PlasmaPro 800 PlasmaPro 100 PlasmaPro 80 PlasmaPro 800 PlasmaPro 100 PlasmaPro 80 PlasmaPro 100 Ionfab Nanofab FlexAL
Advanced Energy社製Paramountジェネレータ
汚染防止シールド
自動圧力制御
バーコード読み取り式ウェーハスキャンソフトウェア
Comdelジェネレータ
デュアルCMゲージ・スイッチング
ガスポッド
Glassman 電源
ハイデン HMT RGA
統合型ガスポッド
ライトタワー
液体窒素自動切り替えユニット
Logviewer ソフトウェア
PTIQ ソフトウェア
SECS GEM オートメーション
ソフトポンプ
TeamViewer ソフトウェア
TEOS 液体レベルセンサー
Vacuum Capacitor AMU
広温度範囲電極
Windows 10 アップグレード
X20 コントロールシステム
お問い合わせは、こちら
サポートのご要望は、こちら

NEW

Introducing... PTIQ Software

PTIQ is the latest intelligent software solution for PlasmaPro and Atomfab processing equipment.

  • Exceptional level of responsive system control
  • Optimise system and process performance
  • Different levels of software to suit your requirements
  • Brand new intuitive layout and design
EXPLORE PTIQ
PTIQ

Global Customer Support

Oxford Instruments is committed to providing a comprehensive, flexible and reliable global customer support. We offer excellent quality service throughout the life of your system.

  • Remote diagnostics software provides quick and easy fault diagnosis and resolution.
  • Support contracts are available to suit the budget and situation.
  • Global spares in strategic locations for quick response.
FIND OUT MORE